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基础学院真空室系统🔐、真空获得系统、真空测量系统等采购项目
招标文件
项目名称：基础学院真空室系统、真空获得系统、
真空测量系统等采购项目
招标方：意昂5注册网资保处
2012年4月11日
招标文件
招标项目名称：基础学院真空室系统🧓、真空获得系统、真空测量系统等采购项目
发标时间🥼👥：2012年4月11日星期三
一、 投标邀请
招标方式：
受用户委托和对采购项目的要求，本职能处室对基础学院真空室系统、真空获得系统、真空测量系统等采购项目进行公开招标👮♂️。具体技术参数见附件。
兹邀请合格投标人以密封标书的形式前来投标🙏，标书一式二份，用单独的信封密封，并在信封上标明投标单位及投标项目名称，为确保标书的时效性和可行性，以专人送达为宜🔢。
1． 投标地点：意昂5注册网资保处物资供应意昂5（行政楼B113室）
2． 投标截止时间👮🏻♀️：2012年4月17日16👊🏿：30，逾期收到或不符合规定的投标文件不予接受。
3． 开标时间和地点🧀：2012年4月18日，采取公开开⛹🏻♀️、评标，地点🩳：校资保处。
4． 开、评标结果由资保处具体人员通知投标单位。
5． 凡需对本次招标提出咨询的供应商，请在2012年4月17日前与资保处物资供应意昂5联系💓。
6． 本招标方地址🧟♀️：上海市龙腾路333号 邮编：201620
7． 联系人：高 丹 电话🤷🏽☕️：67791017
具体参数如下：
一 、真空室系统 1套
圆筒型真空室尺寸Ф450mm x350mm💂🏼，电动上掀盖结构，可内烘烤100～150℃，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；
真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：
1.1 、RF100法兰接口：1个（观察窗口）；
1.2 、RF63法兰接口：1个（观察窗口）；
1.3 、RF10法兰接口📟：3个（2路进气管路🧑🏻🦱、放气阀）🧗♂️；
1.4 🌚、CF150法兰接口：1个（接分子泵）💁🏿；
1.5 、CF100法兰接口：3个（磁控溅射靶接口）
1.6 、CF35法兰接口：6个(接电离规管😜、旁抽口、陶封引线2个、备用2个)🚶➡️；
1.7 🚵🏼、CF25法兰接口🎈：1个（基片挡板）；
1.8 🕺🏻、CF16法兰接口👱🏽：1个（备用）；
1.9 🏄🏼♂️、ZC16法兰接口🥪：1个(接ZC16热偶规管)；
2 👨🎤🚴🏼、磁控溅射靶组件 3套
2.1 😁、靶材尺寸👨🏽🦳：Φ60mm（其中一个可以溅射磁性材料）🌨；
2.2 、永磁靶：射频溅射与直流溅射兼容，靶内有水冷；
2.3 、电动控制挡板组件：1套；
2.4 🙌🏼、靶配有屏蔽罩🥶，以避免靶材之间的交叉污染(非共溅时安装使用)🚆；
2.5 、三个靶可共同折向上面的样品意昂5📛🙉，靶与样品距离90～110mm可调；当直接向上溅射时，靶与样品距离40～80mm可调↕️，并有调位距离指示🧙♀️。
3 、单基片水冷加热台组件 1套
3.1 🤚🏼、基片尺寸：可放置30mm基片✊🏻；
3.2 、基片加热最高温度 800°C±1°C🙂，由热电偶闭环反馈控制；
3.3 🚴🏿♀️、取下加热炉可以换上水冷基片台🧚🏼♀️🧚🏿♀️；
3.4 、基片可连续回转📙🛸，转速5～10转/分🧚🏿；
3.5 、基片可以加负偏压-200V😒👨；
3.6 🧗🏼♂️、手动控制样品挡板组件：1套；
3.7 、样品托🤘🏿：2个；
4 🏸、窗口及法兰接口部件 1套
4.1🔖、RF100玻璃窗口：1块🧖🏽♀️；RF63玻璃窗口✊🏽：1块；
4.2🧙🏽、CF35陶瓷封接引线法兰：2个（照明及内烘烤引线）👰🏻；
4.3、盲法兰CF16：1个；CF35🟪：2个；
5 ◀️、工作气路 1套
5.1 、200SCCM⛹🏼♂️、100SCCM质量流量控制器（北京）、DG16角阀🌐、进气截止阀、混气室🧇、管路🐑、接头等：共3路
5.2 、DG16角阀、管路、接头等：1路（解除真空冲氮气）；
二、真空获得系统 1套
极限真空度👨🏿🦲：≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后)；
系统真空检漏漏率👷🏻：≤5.0x10-7 Pa.l/S；
系统从大气开始抽气，40分钟可达到6.6x10-4 Pa🙂↕️🦻🏼；
停泵关机12小时后真空度🤏🏿：≤5 Pa💵；
1.1 🧑🏿🎄、复合分子泵及变频控制电源🦝：1台（抽速600升/秒，北京）🫱🏿；
1.2 🔄、直联机械泵🌱：1台（抽速8升/秒，上海）👨🏽🎓；
1.3 、KF40电磁隔断放气阀：1台（上海）；
1.4 、分子泵与机械泵软联接金属软管👩🏽🏭：1套 🛷；
1.5 、机械泵与真空室之间的旁抽管路、电磁截止阀及角阀门：1套 👱🏼；
1.6 🙎🏽、CF150-B闸板阀：1台（用于分子泵与真空室隔离）；
2😺、安装机台架组件 1套
优质方钢型材（50mmX50mmX4mm）焊接成👨🏼🚀，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰🏊🏿；四只脚轮🧙，可固定，可移动🧚🏿♂️；
三、电器控制软硬件系统 1套
1.1 ⛏、电源机柜：1台；
1.2 、总控制电源：1台（为分子泵、机械泵👌🏿、电磁阀、升降电机、真空计等提供电源👴🏿🫲🏽， 有断电保护功能）；
1.3 、水流报警系统🙇🏻：1套（对分子泵、磁控靶有断水报警切断相应电源功能）；
1.4 、样品加热控温电源：1套（日本产控温表🚚，可实现程序控温）；
1.5 🚵🏿♂️、步进电机旋转电源：1套；
1.6 、靶挡板电源：3套；
1.7 🧚♀️、加热烘烤及照明电源👈🏻：1套；
1.8 、分子泵控制电源：1套；
1.9🤛🏽、500W射频电源🍙：1套；（沈阳）
1.10、500W直流电源🧑🏿🦱💼：2套；
1.11🦷、-200V直流偏压电源：1套；
2、配件 1套
2.1 、￠6mm不锈钢管：6m；
2.2 、电动升降装置：1套👲🏿；
3、备件 1套
3.1 、无氧铜密封垫圈及管路
CF16：3个；CF35：3个； CF100：2个；CF150💘🐍：2个；
￠6mm卡套🫖：4套；
3.2 、氟橡胶密封圈👨👦👦：￠100mm：1个♌️🌕；￠63mm：1个👨🏻💻、动密封胶圈3个；
3.3 🍭、碘钨灯🐕🦺：5个；
3.4 、样品加热丝👨❤️👨：1套；
3.5 🧖🏿👃🏻、￠100mm玻璃👨🏼✈️：1块；￠63mm玻璃：1块⚰️；
3.6 、小型不锈钢标件👸🏼：M3、M4各3个；
3.7 🪫、电器相关的保险丝🦶🏼：各10个🤰🏿。
4🗞🤸🏿、计算机控制系统 1套
由硬件卡🧗、软件组成（计算机用户自备）🙋🏽；
控制的内容主要有靶挡板、样品自转、样品挡板🎫🤵🏻♂️、样品控温等𓀙；
5、工艺
表面化学抛光，喷砂处理。
四、真空测量系统 1套
1.1 、宽量程数显真空计（成都）：1套⛹🏿♂️；
热偶规🙇🏿♀️：1路（1.0x105Pa～1.0x10-1Pa）👨🏻🦰🌵；
电离规：1路（1.0x10-1Pa～1.0x10-5Pa）𓀒；
1.2 、200SCCM、100SCCM质量流量显示器：1套；